截至2025年12月5日 15:00，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.33%，成分股和林微纳上涨7.94%，中科飞测上涨6.34%，新益昌上涨4.97%，艾森股份上涨3.58%，明志科技上涨1.88%。科创半导体ETF（588170）上涨0.14%，最新价报1.4元。

流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手12.9%，成交4.41亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至12月4日，科创半导体ETF（588170）近1周日均成交4.32亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF（588170）近1周规模增长1.39亿元，实现显著增长。

12月4日，拓荆科技举行2025年第三季度业绩说明会。公司董事长表示拓荆科技目前PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD等薄膜设备系列产品及先进键合系列产品在存储芯片制造领域已实现产业化应用，目前在手订单饱满，如果后续下游客户进一步扩产，预计将持续拉动对该等产品的需求量。

长城证券指出，拓荆科技是国内领先半导体薄膜沉积设备供应商，PECVD、ALD 等核心产品技术领先、品类齐全。随着国内晶圆厂加速扩产及国产化进程提速，公司作为平台型设备领先者将深度受益。公司前瞻性布局三维集成键合设备，并获大基金三期加持，有望开启第二成长曲线。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。