10月27日午盘，受国产光刻胶技术取得颠覆性突破影响，晶瑞电材大涨超15%，艾森股份涨7.69%，南大光电涨超6%，多个光刻胶概念股走强。

ETF方面，“半导体设备+材料”含量约70%的半导体设备ETF（561980）午盘收涨1.93%、成交额达2.14亿。数据显示，该ETF近十个交易日内累计净流入共2.94亿，截至上周五最新规模26.3亿元，标的指数年内涨幅为61.31%。

成份股方面，富创精密涨6.39%，联动科技、江化微、拓荆科技等涨超5%，金海通、中微公司涨超4%，上海新阳、上海合晶、长川科技、立昂微等涨超3%，北方华创、海光信息、华海清科等跟涨。

消息面上，近期国产芯片迎来密集利好催化。

北大团队首次在液相环境中实现光刻胶分子结构原位解析，并开发出减少光刻缺陷的产业化方案，将缺陷率降低99%。产业链来看，光刻胶是半导体制造领域的核心材料，此次突破有望大幅缩短光刻胶研发周期、降低验证成本，加速国产替代进程。

此外，10月24日，国产GPU厂商沐曦股份科创板IPO获上市委会议审议通过，此前摩尔线程于2025年9月26日成功通过科创板上市委会议审议，国产算力板块集中迎来催化。

银河证券认为，资金围绕科技自立主线集中布局，头部半导体设备企业订单能见度有望持续提升。重要规划重点聚焦关键核心技术领域的自主突破，设备是直接受益环节之一。短期看，AI算力需求或推动国内外逻辑与存储厂商扩产，刻蚀、薄膜沉积设备需求旺盛；长期看，国产替代逻辑在科技自强战略下或更为稳固。

业绩方面，近期半导体设备ETF（561980）标的指数中多家成份股披露三季报业绩公告。

海光信息、寒武纪前三季度，不管是营业收入还是归母净利润均实现同比大幅增长。其余成份股如中船特气、上海合晶、神工股份、艾森股份等前三季度营收、归母净利润均录得同比正增长。其中，晶瑞电材前三季度归母净利实现同比增长超192倍。

半导体设备ETF（561980）跟踪中证半导，截至三季报过去六个月净值增长率为61.46%，过去一年净值增长率为89.26%。前十大集中度超过78%，半导体设备、半导体材料、集成电路设计三大行业占比约90%，聚焦国产芯片“卖铲子”环节，有望充分受益于自主可控进程。