截至2026年3月2日 13:50，科创半导体ETF（588170）下跌1.88%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌1.55%。

热门个股方面，拓荆科技领涨4.67%，兴福电子上涨3.53%，晶升股份上涨3.30%；中科飞测领跌6.68%，有研硅下跌6.00%，神工股份下跌5.21%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.45%，成交6.67亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手4.31%，成交1.14亿元。

规模方面，科创半导体ETF最新规模达90.53亿元，创成立以来新高，领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达26.72亿元。

份额方面，科创半导体ETF最新份额达48.71亿份，创成立以来新高，领先同类。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入4.69亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”5.65亿元，日均净流入达1.41亿元。半导体设备ETF华夏最新资金净流入1198万元。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。