截至13:34，中证半导体材料设备主题指数（931743）涨0.16%，权重股中，中微公司涨1.9%，北方华创涨0.2%，沪硅产业跌0.7%，华海清科跌1.0%，拓荆科技跌2.4%。此外，金宏气体涨11.7%，康强电子涨6.0%，万业企业涨5.7%，富创精密涨4.9%。

设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数，备受资金青睐，近10日吸金超17亿，截至发稿盘中获净申购1.38亿份。

半导体赛道，中国科研团队接连取得新突破。近日，西安电子科技大学科研团队通过创新技术，成功将粗糙的“岛状”界面转变为原子级平整的“薄膜”，使芯片散热效率和器件性能获得突破性提升。这为半导体材料高质量集成提供“中国范式”的突破性成果。

此外，中核集团获悉，由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机(POWER-750H)成功出束，核心指标达到国际先进水平。据悉，离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造“四大核心装备”。

招商证券指出，当前我国半导体设备国产化率较低，根据MIR，2024年中国晶圆制造设备综合本土化率25%，其中光刻机、量检测设备、涂胶显影机的国产化率较低，分别为<1%、9%、12%，MIR预测到2026年，中国晶圆制造设备综合本土化率有望提升至30%。

半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数聚焦半导体设备与半导体材料领域，根据申万三级行业分类，指数半导体设备占比为63%，在国产化趋势中具备较强弹性。

半导体设备ETF易方达（159558）提供了一键布局这一高景气赛道的高效工具，在波动中把握产业趋势红利，值得中长期关注。场外投资者也可关注联接基金A/C（021893/ 021894）