截至2025年10月24日 09:45，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.67%，成分股京仪装备上涨4.94%，拓荆科技上涨4.79%，华海诚科上涨4.29%，中巨芯，中微公司等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨2.38%，最新价报1.42元。

流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手2.55%，成交1.00亿元。拉长时间看，截至10月23日，科创半导体ETF（588170）近1月日均成交7.14亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF（588170）最新规模达38.63亿元，创成立以来新高。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。