光刻胶的定义,求一个专业详细的解答
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光刻胶又称光致抗蚀剂,是对光敏感的混合液体,核心成分包括感光树脂、增感剂和溶剂。它经紫外光、电子束等照射后,溶解度发生变化,在光刻工艺中作为抗腐蚀涂层,能将掩模版图形精准转移到半导体、显示面板、电路板等基底上,经曝光、显影、蚀刻等步骤形成微细图形。它是微电子微细图形加工的核心材料,对芯片制造、面板生产等产业至关重要。

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