光刻胶的定义,求一个专业详细的解答
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光刻胶是微电子制造领域的核心光致抗蚀材料,本质是一类经光线照射会发生化学结构变化的高分子化合物。在芯片光刻工序中,它会被均匀涂布在晶圆表面,当特定波长的紫外光或极紫外光透过掩膜版照射后,被照区域的溶解性会改变,后续通过显影、蚀刻等工艺,就能把掩膜版上的精细电路图案精准复刻到晶圆上,直接影响芯片的制程精度和生产良率,是芯片制造环节不可或缺的关键材料。

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