您好！半导体ETF基金排名会随市场表现等因素变化，以下是综合市场数据与机构观点，截至2026年2月12日，按基金规模、收益率等指标排名靠前的几只半导体ETF基金：
1. 华夏国证半导体芯片ETF（159995）：跟踪国证半导体芯片指数，覆盖芯片材料、设备、制造等全产业链，前十大重仓股包括中芯国际、北方华创等行业龙头。
2. 国泰CES半导体芯片行业ETF（512760）：聚焦中华半导体芯片指数，代表性较强，重仓韦尔股份、兆易创新等企业。
3. 国联安中证全指半导体ETF（512480）：跟踪中证全指半导体指数，持仓以紫光国微、士兰微等国内半导体企业为主。
4. 广发国证半导体芯片ETF（159801）：规模较大，重仓中芯国际、海光信息等，近一年收益率达19.36%。

选择半导体ETF基金时，您可以关注以下要点：
1. 跟踪指数差异：不同基金跟踪的指数有所不同，如国证芯片指数侧重全产业链，中证全指半导体指数聚焦国内企业等。
2. 风险与收益特征：ETF基金波动相对较低，适合短线操作；主动管理型基金收益潜力大，但波动剧烈。

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