您好！光刻胶领域的基金没有绝对的“最好”，以下为您介绍几只表现较为突出的基金，供您参考：
- 永赢半导体产业智选混合发起C（015968）：该基金精准聚焦光刻机行业，深挖产业链上下游优质标的，构建具备技术壁垒和成长潜力的个股组合。其业绩回报亮眼，截至2025年11月12日，近3月上涨26.82%，近6月上涨43.43%，近2年上涨85.74%，今年来更是斩获70.19%的高收益。
- 半导体材料ETF：持仓聚焦于半导体产业链上游核心材料环节，布局了光刻胶等细分赛道，覆盖了南大光电、容大感光等光刻胶领域的龙头企业。截至2025年11月，该ETF今年以来收益率达48.03%，显著优于同类半导体ETF，在85%的同类基金中排名靠前；成立以来累计收益55.68%，年化回报约25%，显示出较强的进攻性。

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