您好！人工智能ETF基金的排名会随市场表现而变化，以下是一些规模较大、流动性较好且表现较为突出的人工智能ETF基金，供您参考：
1. 易方达人工智能ETF（159819）：跟踪中证AI指数，规模222亿，流动性顶级，管理费率0.5%，覆盖算力、算法、应用全产业链。
2. 华夏人工智能ETF（515070）：规模超90亿，成分股聚焦光模块、半导体，适合偏好算力硬科技的投资者。
3. 科创AI ETF（589520）：半导体持仓超50%，弹性大，适合博弈国产替代加速的场景。
4. 人工智能AIETF（515070）：跟踪中证人工智能主题指数，持有中际旭创、科大讯飞等全产业链的标的，年内份额增长了92%，2025年以来规模增长216.9%至93.75亿元，近一年涨幅71.58%，远超沪深300，体现了高研发投入带来的增长潜力。
5. 科创创业人工智能ETF永赢（159141）：全市场首只成立的科创创业人工智能ETF，已跃居同类规模第一，流动性优势突出。其跟踪的科创创业AI指数近三年累计收益达254.54%，年化收益52.42%，显著跑赢同类人工智能指数及宽基指数。

需要注意的是，基金排名只是一个参考因素，不能作为投资决策的唯一依据。在选择人工智能ETF基金时，您还需要考虑基金的投资策略、风险收益特征、基金经理的投资能力等因素，并结合自己的投资目标、风险承受能力和投资期限进行综合评估。如果您对人工智能ETF基金投资感兴趣，想了解更多相关信息，欢迎点击右上角加我微信，我将为您提供专业的投资建议和服务。