您好！半导体设备ETF历史业绩波动明显。在行业上升期，如2020 - 2021年因技术突破和市场需求大增，其涨幅超50%，大幅跑赢沪深300指数；但在行业低谷期，如2022年则遭遇大幅调整。以华夏中证半导体材料设备主题ETF（基金代码：562590）为例，截至2025年11月20日，今年以来净值增长率达41.18%，过去一年为24.29%。

与同类基金相比，半导体设备ETF聚焦半导体设备领域，行业针对性强，技术壁垒高，若相关企业取得技术突破或扩大市场份额，收益潜力较大。并且ETF分散投资，在市场下跌阶段波动相对较小，如去年三季度行业调整时，某半导体设备ETF回撤控制在15%以内，而部分主动管理的半导体基金回撤超20%。不过，其行业集中度过高，若半导体行业整体受挫，表现可能不如分散投资的同类产品。

从投资价值来看，当前全球半导体产业处于复苏阶段，在人工智能应用爆发式增长、国产替代纵深推进、智能汽车等下游需求增长多重推动下，半导体行业整体呈现复苏态势，中证半导指数2025年Q3营收和净利润均实现同比增长。长期来看，半导体设备ETF有投资价值。但短期可能因市场情绪、宏观经济等因素波动。

如果您看好半导体行业长期发展，且风险承受能力较高、投资期限较长，可考虑适当配置半导体设备ETF。不过单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。您可以下载盈米启明星APP并输入店铺码6521，右上角加微信，盈米基金叩富团队会根据市场动态和您的具体情况，为您提供专业的投资建议。