为你介绍两只规模较大、流动性较好的半导体ETF：
易方达中证芯片产业ETF（516350）
虽然暂未获取其直接规模和流动性数据，但易方达作为行业领军企业，管理规模超1.95万亿元，投研实力强，风险控制体系完善。旗下基金一般能得到较好的运营和支持，该基金大概率也具备充足的规模和良好的流动性，可满足投资者的交易需求。

其他可参考半导体ETF情况
- 半导体ETF（SZ159813）：截至2025年5月14日，该基金规模达46.61亿元，流动性好，交易不卡顿。近20个交易日累计成交金额47.44亿元，日均成交2.37亿元，交易活跃度有保障。
- 国联安半导体ETF（512480）：截至2025年6月5日，最新规模为226.07亿元。截至6月6日，近20个交易日累计成交金额159.15亿元，日均成交金额7.96亿元。

总体而言，易方达旗下的半导体ETF在公司强大实力的支撑下，能在规模和流动性上为投资者提供较好的保障。如果你有投资需求，可以进一步关注易方达中证芯片产业ETF（516350）的详细信息。