以易方达中证半导体材料设备主题ETF为例，它在不同时间段与同类基金相比，业绩表现有所不同。截至10月28日，其近1月涨幅0.91%，同类平均为2.07%，同类排名361/5584；近3月涨幅39.01%，同类平均11.20%，同类排名474/5195；近6月涨幅49.19%，同类平均28.88%，同类排名799/4792；近1年涨幅48.61%，同类平均23.90%，同类排名727/4036。

半导体设备ETF与同类基金相比，有一定优势和劣势。优势在于行业针对性强，半导体设备是产业链核心环节，技术壁垒高，若企业取得技术突破或扩大市场份额，收益潜力大。在半导体行业上升期，部分半导体设备ETF表现突出，如2020年涨幅超50%，大幅跑赢同期沪深300指数，部分半导体设备ETF近一年涨幅超30%，高于一些同类基金20%左右的涨幅。并且ETF分散投资，在市场下跌阶段波动相对较小，如去年三季度行业调整时，某半导体设备ETF回撤控制在15%以内，而部分主动管理的半导体基金回撤超20%。

劣势在于其行业集中度过高，如果半导体设备行业整体受挫，表现可能不如一些分散投资的同类产品。不同半导体设备ETF跟踪的指数、规模与流动性、费率等也存在差异，都会对其与同类基金对比的表现产生影响。

能不能购买半导体设备ETF，需要综合多方面因素考量。半导体产业是国家战略支持的重点领域，长期发展前景广阔，随着5G、人工智能、物联网等新兴技术的发展，对半导体设备的需求会持续增长。然而，半导体行业周期性强，受宏观经济、政策、技术创新等影响大，也面临国际贸易摩擦、技术更新换代快等问题，可能影响行业发展。若当前市场处于上行周期，行业前景向好，政策支持，可考虑买入；若市场低迷，不确定性高，则需谨慎。此外，还需结合个人投资目标与风险承受能力，若投资目标是长期分享半导体行业增长红利，且能承受一定波动，可逢低布局；若风险偏好低，短期投资，需关注市场短期走势，等待更合适时机。

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