光刻机概念股主要围绕光刻技术、核心部件、材料及设备配套等环节，以下是部分个股：
整机及关联企业：
张江高科：参股上海微电子9.09%，后者是中国唯一可生产前道光刻机的企业，张江高科在光刻机整机领域有较强的关联性。
上海电气：作为上海微电子第一大股东，间接参与光刻机相关业务，为其提供研发资金与产业链整合支持。
光学元件及镜头：
茂莱光学：为上海微电子提供光学透镜，其精密光学元件可用于光刻机镜头，还为光刻机光学系统提供匀光、中继照明模块的光学器件等核心模块。
福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商，其产品可用于光刻机激光光源，曾是ASML供应商。
系统清洗及洁净设备：
蓝英装备：其精密清洗设备面向高端芯片制造行业，可提供光刻机核心光学系统清洗设备，是全球唯一为ASML提供EUV清洗设备的厂商。
美埃科技：可提供最高洁净等级标准设备，应用于光刻机相关洁净环境，为光刻机运行提供洁净保障。
结构零部件及其他：
华亚智能：为光刻机设备提供精密金属结构件，是光刻机产业链中的零部件供应商。
同飞股份：其液体恒温设备用于光刻机温度控制，为光刻机提供温度控制相关配套，温控精度可达±0.1°C。
光刻胶材料及产品供应商：
南大光电：是国内唯一量产ArF光刻胶企业，通过中芯国际验证，覆盖EUV配套材料，在光刻胶领域技术实力较强。
晶瑞电材：国内光刻胶领军企业，KrF光刻胶已实现量产并持续放量，ArF光刻胶进入小批量供货阶段，产品应用于半导体及显示领域。
光刻胶原材料企业：
强力新材：全球光刻胶光引发剂龙头，市占率超60%，其PSPI材料在Chiplet先进封装中介层制造中验证进展顺利，技术覆盖KrF、ArF等高端光刻胶领域。
常青科技：国内唯一量产对叔丁基苯乙烯（TBS）的企业，该单体是光刻胶及先进封装材料的关键原料，其电子级酚醛树脂适配7nm以下先进制程。