你好，光刻机概念股是指那些与光刻机的研发、生产、销售或相关产业链有直接或间接联系的上市公司。光刻机是半导体制造中用于将电路图案转移到硅片上的关键设备，其技术难度高、市场价值大，因此相关概念股在半导体产业链中备受关注。

A股中的部分光刻机概念股
1.芯源微
芯源微是光刻机概念龙头股之一。公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，广泛应用于LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节。
2.福晶科技
福晶科技是全球最大的LBO、BBO非线性光学晶体供应商，其产品广泛应用于光刻机等半导体设备。
3.苏大维格
苏大维格是国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，自主研发微纳光学关键制造设备——光刻机，为客户提供微纳光学产品的设计、开发与制造服务。
4.张江高科
张江高科通过旗下全资子公司间接参股上海微电子，持有其10.779%的股份。
5.南大光电
南大光电在光刻胶领域有重要突破，自主研发的ArF光刻胶产品成功通过客户使用认证，并拿到首个订单，拟进行小批量生产。
6.波长光电
波长光电为光刻机提供平行光源系统。
7.腾景科技
腾景科技的多波段合分束器已进入微电子供应链。
8.晶方科技
晶方科技的子公司荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。
9.赛微电子
赛微电子是光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。
10.电科数字
电科数字的子公司可供货光刻机控制器。
11.金力泰
金力泰的超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，其子公司是上海微电子供应商。
12.东方嘉盛
东方嘉盛提供光刻机寄售维修服务。

这些公司在光刻机产业链中扮演着重要角色，具有一定的市场影响力和发展潜力。
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