以下是光刻机概念龙头股一览表：

1. 大族激光：总市值246亿，是亚洲最大激光加工设备生产商，在光刻机领域是绝对的龙头公司。

2. 华特气体：总市值70亿，是国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一，已获专利101项、参与制定30项国家标准。

3. 容大感光：总市值84亿，行业内生产PCB感光油墨产品品种最齐全的企业之一。

4. 晶瑞电材：总市值99亿，是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一。

5. 南大光电：总市值159亿，是MO源产业化生产的企业，也是全球主要的MO源生产商。

6. 上海新阳：总市值106亿，是国家工信部第一批“专精特新”小巨人企业、上海市集成电路关键工艺材料重点实验室等。

7. 华懋科技：总市值86亿，在汽车安全气囊布的生产硬件方面处于同行业先进水平。

8. 芯源微：总市值180亿，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

9. 雅克科技：总市值304亿，产品大量运用于芯片制造领域。

10. 飞凯材料：总市值87亿，是我国主要的光纤光缆涂覆材料供应商之一。