以下是一些光刻机概念龙头股： 整机相关 张江高科：持股上海微电子10.779%的股份，上海微电子是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。 上海电气：母公司为上海微电子第一大股东。 东方明珠：通过间接持股上海微电子。 奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。 光源相关 波长光电：提供光刻机平行光源系统。 茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机，其半导体DUV光学透镜是保证光刻机高成像质量的关键组件。 福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商，有通过欧洲代理和ASML签署保密协议，已提供部分产品。 光学器件相关 腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链。 苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品，公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备。 炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器，产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。 晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。 京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强。 其他相关 蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户，与荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）公司保持长时间的合作。 美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单。 国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。 海立股份：微电子装备集团的系统级合作商。 同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制。 赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商，与ASML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统EMNS部件的工艺开发与晶圆制造服务。 电科数字：子公司可供货光刻机控制器。 金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上海微电子供应商。 东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务。