光刻机概念股是指那些与光刻机研发、生产、销售以及相关产业链上下游业务紧密相关的上市公司股票。光刻机是半导体制造中最为关键的设备之一，其技术水平和市场规模直接影响到整个半导体产业的发展。以下是一些A股市场中的光刻机概念龙头股：

1. 张江高科（600895）

张江高科通过旗下全资子公司间接参股上海微电子装备（集团）股份有限公司，持股比例约10.78%。上海微电子是国内唯一具备90nm及以上光刻机整机研发能力的企业。张江高科的核心竞争力在于其独特的科技地产模式和产业投资能力。

2. 上海电气（601727）

上海电气的母公司是上海微电子的第一大股东，参与光刻机产业链布局。通过这种战略布局，上海电气间接涉足光刻机整机业务，有望受益于光刻机国产化进程。

3. 福晶科技（002222）

福晶科技是全球最大的非线性光学晶体供应商，其产品应用于光刻机激光光源系统。公司与ASML签署保密协议并供货，在光刻机核心零部件领域具有重要地位。

4. 南大光电（300346）

南大光电是国内唯一实现ArF光刻胶量产的企业，其产品直接用于高端芯片制造。光刻胶是光刻工艺中不可或缺的材料，南大光电在这一领域的突破对于光刻机产业链的完善具有重要意义。

5. 茂莱光学（688502）

茂莱光学在光刻机领域具有核心技术，生产的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm。其“光刻机系统光学器件加工和镀膜技术”已完成设计并进入小批量试制阶段，是国内少有的具备支持光刻机国产化能力的光学公司。

6. 新莱应材（300260）

新莱应材的真空产品AdvanTorr品牌以及气体产品NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中。公司是气液真空零部件国产龙头，打破双重壁垒，国产替代提速，其产品为光刻机等半导体设备提供核心零部件。

7. 炬光科技（688167）

炬光科技为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器。其生产的光场匀化器和广角匀化扩散器是光刻机制造的重要元件。

8. 蓝英装备（300293）

蓝英装备的控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案。其子公司为ASML提供光刻机精密清洗设备及解决方案，在光刻机的后端维护和保养方面具有重要地位。

9. 大族激光（002008）

大族激光的主营业务是激光设备及配套产品的研发、制造和销售。其产品涵盖激光打标机、激光切割机、激光焊接机等多个系列，广泛应用于消费电子、新能源、汽车制造等领域。大族激光在激光设备领域具有较高的市场份额和技术实力。

10. 华特气体（688268）

华特气体提供光刻机用特种气体及纯化技术。其产品在光刻机的气体供应和纯化方面具有重要应用，是光刻机产业链中不可或缺的一环。

这些公司在光刻机产业链中扮演着重要角色，涵盖了光刻机整机研发、光学器件、光刻胶与材料、精密机械等多个领域。随着国内光刻机技术的不断进步和市场需求的增长，这些龙头股有望在未来的发展中持续受益。

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