光刻机零部件概念股如下：

1. 怡达股份（股票代码：300721）

（1）主营业务：集成电路前端设备制造、销售和服务

（2）经营状况：拥有自主知识产权的光刻机产品线，稳定的市场份额和客户基础

（3）核心竞争力：技术领先、产品品质可靠、服务完善

2. 东方中科（股票代码：603113）

（1）主营业务：光刻机及配套设备、封装测试设备制造和销售

（2）经营状况：在光刻机领域具备较强的技术实力和市场份额

（3）核心竞争力：技术创新、产品多样化、客户广泛覆盖

3. 芯源微（股票代码：688037）

（1）主营业务：集成电路光刻机系统开发、制造和销售

（2）经营状况：专注于高端光刻机市场，技术优势明显

（3）核心竞争力：技术领先、产品质量卓越、市场占有率提升

4. 飞凯材料（股票代码：300398）

（1）主营业务：光刻胶及其他功能性材料的研发、生产和销售

（2）经营状况：在光刻胶领域具备一定市场地位和行业声誉

（3）核心竞争力：技术研发能力强、产品质量稳定、市场渠道广泛

5. 永太科技（股票代码：002326）

（1）主营业务：集成电路光刻机制造、销售和维修服务

（2）经营状况：具备一定的市场份额和客户基础

（3）核心竞争力：专注于智能化光刻设备，产品技术先进、服务体系完善

6. 智光电气（股票代码：600654）

（1）主营业务：集成电路光刻机制造、销售和技术服务

（2）经营状况：在国内光刻机市场具有一定的市场影响力

（3）核心竞争力：产品质量可靠、服务水平高、技术创新能力强

7. 大族激光（股票代码：002008）

（1）主营业务：激光设备及配套产品的研发、制造和销售

（2）经营状况：在激光设备领域具有较高的市场份额和技术实力

（3）核心竞争力：技术领先、产品线全面、市场拓展能力强

8. 奥普光电（股票代码：002338）

（1）主营业务：红外光电子器件和集成电路等器件的研发、生产和销售

（2）经营状况：在国内市场具备一定的市场地位和行业影响力

（3）核心竞争力：技术创新能力强、产品质量可靠、市场布局广泛

9. 圣泉集团（股票代码：300949）

（1）主营业务：光学薄膜材料和光学薄膜涂层设备的研发、制造和销售

（2）经营状况：在光学薄膜材料和涂层设备领域具有一定市场份额

（3）核心竞争力：技术研发水平高、产品质量稳定、市场渠道广泛

10. 华特气体（股票代码：002688）

（1）主营业务：特种气体的研发、生产和销售

（2）经营状况：在特种气体市场具有一定的市场地位和行业影响力

（3）核心竞争力：技术研发实力强、产品质量稳定、市场拓展能力强

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