光刻机是制造芯片的核心设备，其作用是将电路图案转移到半导体芯片上，是IC制造中最关键的工艺步骤之一。因此，光刻机概念股在股票市场上的表现往往与半导体行业的整体发展密切相关。

光刻机概念股包括但不限于以下几支：

北方华创（002371）：北方华创是国内半导体设备龙头，产品线覆盖了半导体制造的前中后段，包括光刻机等核心设备。
中微公司（688012）：中微公司是国内半导体设备细分龙头，聚焦半导体关键设备及核心零部件，产品包括刻蚀机、薄膜沉积等设备。
华特气体（688268）：华特气体是稀有气体龙头，产品被广泛应用于集成电路、MEMS、先进封装等领域，是不可或缺的上游材料。
芯源微（688037）：芯源微专注于半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括前道涂胶显影和单片式湿法设备等。

需要注意的是，股票市场千变万化，投资存在风险。投资者应该根据自己的风险承受能力和投资目标进行投资决策。同时，建议进行充分的市场调研和风险评估，并寻求专业的投资建议和指导。

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