张江高科（600895）：张江高科是张江科学城运营主体的上市公司，其全资子公司张江浩成持股的微装公司是国内一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。
奥普光电（002338）：奥普光电是长光所的控股子公司，长光所是国内光学精密器件的绝对龙头，更是国产高端光学器件的摇篮，拥有绝对的市场占有率，其研发的曝光系统，是光刻机的核心部件，填补了国产技术的空白。
晶瑞股份（300655）：晶瑞股份子公司苏州瑞红是国内最先布局且开始量产光刻胶的厂商，也是目前国内为数不多真正生产高端光刻胶的公司之一。公司主要的客户有长江存储、中芯国际、华虹宏力等业内龙头。
华特气体（688268）：华特气体是全球光刻机龙头ASML和国内主要半导体厂商如中芯国际的供应商，其产品被广泛应用于集成电路、MEMS、先进封装、光刻胶等半导体制造领域。

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