根据你的请求，以下是一些与光刻机概念相关的基金：

ETF半导体芯片基金：这类基金主要投资于半导体芯片行业，包括光刻机在内的相关企业。具体包括：

①国泰CES半导体芯片ETF（512760）

②国联安中证半导体ETF（512480）

③华夏国证半导体芯片ETF（159995）

④广发国证半导体芯片ETF（159801）

⑤鹏华国证半导体芯片ETF（159813）

2.ETF半导体芯片联接基金：这些基金允许投资者通过银行等渠道购买，类似于ETF，但可以在场外交易。具体包括：

①华夏国证半导体芯片ETF联接A（008887）

②华夏国证半导体芯片ETF联接C（008888）

③国泰CES半导体芯片行业ETF联接A（008281）

3.半导体设备ETF（561980）：这个基金聚焦于半导体设备和材料等上游产业链，包括光刻机等关键设备。

4.国家集成电路产业投资基金（大基金）：大基金一期和二期主要投资方向集中在设备和材料领域，为我国芯片产业的初期发展奠定了坚实基础。大基金三期可能会继续关注半导体产业链的关键环节，包括光刻机等。

这些基金覆盖了光刻机及相关半导体设备和材料领域，投资者可以根据自己的投资偏好和风险承受能力选择合适的基金进行投资。请注意，投资有风险，选择需谨慎。

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