8月25日盘后，芯源微（688037.SH）2022年半年度报告显示，实现营收5.04亿元，同比增长43.70%；归母净利润6940.67万元，同比增长97.91%。

单季度来看，芯源微Q2单季度营收3.21亿元，同比增长34.97%，创下公司历史单季度营收最高纪录；归母净利润实现3699万元，同比增长29.50%。

芯源微表示，业绩增长主要受半导体行业景气度持续向好影响，同时产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。

财报还显示，芯源微经营活动产生的现金流量净额达到1.12亿元，同比由负转正，公司表示上半年销售回款节奏良好。同时公司上半年合同负债也有大幅增长，期末余额为6.28亿元，较期初增加77.99%，表明公司目前在手订单饱满。

《科创板日报》记者注意到，芯源微上半年研发费用4268万元，占营收比重8.47%，比去年全年水平有所下滑。公司方面表示，原因主要是部分研发项目处于设计阶段，研发材料采购领用存在滞后效应。

分产品条线来看，在前道涂胶显影领域，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破。

产品订单方面，芯源微上半年前道offline、I-line批量销售并获重复订单，而此前宣布通过客户ATP验收的前道KrF涂胶显影机，最新信息显示也在今年上半年实现批量销售，并获得多家头部晶圆厂的小批量重复订单，整体前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长。

芯源微董事长宗润福此前接受《科创板日报》记者采访表示，若前道I-line、KrF机台能够在客户端实现稳定量产，先进制程领域能够覆盖的市场范围约在50%，“由于国内现在功率器件制造需求很火，预计市场覆盖可进一步提升至60%”。据悉，目前该领域公司客户包括长江存储、合肥长鑫、士兰微、青岛芯恩、中芯绍兴等。

在前道物理清洗领域，芯源微今年上半年陆续获得中芯国际、上海华力、青岛芯恩、北京燕东微等多个前道大客户的批量重复订单。公司方面表示其物理清洗机Spin Scrubber设备已经达到国际先进水平。据悉，该产品在28纳米及以上产线批量应用的清洗设备中，销量大于国内其他厂商。目前市场化学清洗占主流，市场占比超80%，物理清洗不到20%。芯源微当前清洗设备均为单片物理式清洗机，据介绍，公司单片式化学清洗机也在研发中。

在后道先进封装领域，芯源微技术积累和市场化工作已较为成熟，当前涂胶显影设备已作为主流机型，实现批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴等国内一线厂商，成为客户的主力量产设备。芯源微表示，未来将继续加大开拓我国台湾地区以及海外市场的力度。据悉，未来随着后道市场工艺正在不断升级进步，涂胶显影市场仍有价值增量空间。

芯源微半年报还披露，公司两项募投项目均已结项，上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目（二期）作为定增项目，目前正在按照计划进行资金投入，预计将于2024年底达到预定可使用状态。

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