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您好！半导体设备ETF的申购费率通常因销售平台而异，一般在0.1% - 1.5%之间，部分平台可能会有费率优惠。是否适合开启基金定投，要综合多方面因素来看。半导体设备行业技术更新快、周期性强，若从长期看，随着科技发展和国产替代进程推进，有一定投资价值，但短期可能受行业竞争、宏观经济等因素影响波动较大。
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