半导体设备ETF聚焦于半导体设备领域，能精准把握该细分赛道的发展机遇，避免其他半导体产业链环节的干扰，且具有交易成本低、透明度高的特点。不过，其历史业绩抗波动能力较弱，短期波动较大，近1年波动率达35.49%，最大回撤21.7%，抗波动能力在同类中仅优于6.25%的产品。

以华夏中证半导体材料设备主题ETF（基金代码：562590）为例，截至2025年12月1日，今年以来净值增长率42.90%，过去一周3.41%，过去一月 -1.41%，过去一季11.86%，过去半年44.08%，过去一年26.89%，成立以来50.29%。部分半导体设备ETF在近一年涨幅超30%，高于一些同类基金20%左右的涨幅。

目前半导体设备ETF的估值处于历史低位（低于85%的时期），持有半年盈利概率为56.56%，长期配置价值凸显。在人工智能应用爆发式增长、国产替代纵深推进、智能汽车等下游需求增长等多重推动下，半导体行业整体呈现复苏态势，2025年全球半导体增长延续乐观走势，国产替代也在持续推进，中证半导指数2025年Q3营收和净利润都实现同比增长，整体保持复苏态势。多位基金经理认为半导体设备是2025年科技主线，订单与盈利预期清晰。

不过，半导体设备行业也面临着技术迭代快、竞争激烈、政策和贸易环境不确定等风险，受技术创新、市场需求、国际贸易等多种因素影响，具备高成长性与高波动性特征，受技术迭代、政策变化影响较大。如果在行业下行阶段持续投资，也可能面临一定损失。

如果要选择半导体设备ETF进行定投，优先推荐561980（半导体设备ETF），它近1年收益率42.37%，成立以来收益100.19%，表现更优，持有半年盈利概率63.25%；备选159516，其波动相对较低（近1年波动率33.74%），适合风险偏好稍低的投资者。同时，单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置，比如可以选择盈米基金叩富团队打造的【叩富稳盈组合】。

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