2023年年底ASML已经将最新型EUV出货给英特尔，最新型EUV将用于学习生产INTEL 18A先进制程，并预计在2025年生产，有望成为英特尔领先对手台积电和三星的关键。

目前，英特尔跟三星传出下单，但台积电传出计划2030年或以后才采用。可能有几个原因:

成本考量:

最新型的High-NA EUV成本逾3亿美元，但台积电目前用的EUV成本才2亿美元，由于2019年才开始投产，机器使用寿命还很长；另外，台积电也可能认为，用现有EUV就能制造出媲美最新型EUV所做出的晶片，成本更加低廉。

补贴考量:

台积电早期使用ASML的EUV机器的部分费用是由苹果支付的，当时苹果正在将其生产从三星转移出去，并需要台积电大规模生产其顶级晶片，但最近有消息指出，苹果不会为台积电的高数值孔径升级付出代价。

制程计划考量:

ASML计划今年生产十台最新型EUV，据传英特尔已经买下6台，三星也可能卷入抢购战当中。由于最新型EUV每台机器成本超过3亿美元，台积电如果将资本支出花费在最新型EUV上面，可能会扰乱其当前的3nm和2nm芯片计划。

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