一.至纯科技

总市值：98.2亿元

至纯科技成立于2000年，主要业务为高纯工艺系统与高纯工艺设备的设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务，是国内高纯工艺龙头。

由于高纯工艺系统是保证和提高整个半导体产业生产质量的必要条件，因此高纯工艺不仅为至纯科技贡献了不菲的利润，更以此积累了包括台积电、海力士，三星以及国内的一线龙头，如中芯国际，长江存储，华虹华力等重量级半导体客户。而这也为至纯科技此后进军半导体清洗设备打下了坚实的基础。

为了提升国产化率，至纯科技于2017年进入清洗设备行业。通过三年多努力，目前至纯已经实现中高端单片和槽式清洗设备的研发。其中，自主研发的8寸和12寸湿法设备已通过市场验证，并相继进入中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等客户。而受益于晶圆厂建厂潮以及半导体工艺的更新迭代所带动的新增需求，相关机构预计，至纯科技未来3年业务增速有望达到48%。

二.晶盛机电

总市值：520亿元

成立于2006年的晶盛机电是国内领先的专注于半导体材料设备和LED衬底材料制造的高新技术企业，同时也是国内晶体生长设备的龙头，占据直拉单晶炉90%的市场份额。

问题就在于，为何晶盛的晶体生长设备能处于几乎垄断的地位？原因就在于，硅片是半导体晶圆制造中，成本最高的一种材料，一旦保证不了质量，将会制造巨大损失。而晶盛不仅是国内唯一能量产G12尺寸单晶硅炉设备的企业，其晶体硅生长设备还能保证硅片生产的效率和质量，这也是为何我们能在晶盛的众多客户中，看到中环股份、中环领先等半导体龙头企业。

能取得这样的成就，正是得益于晶盛机电过硬的研发实力。截止2020年6月，公司获授权的专利428项，其中发明专利56项，实用新型356项，外观专利16项。

业绩方面，2020年，晶盛机电实现归母净利润8.58亿元，同比增长34.6%。

三.中微公司

总市值：629亿元

中微公司创立于2004年，是国内半导体设备研发投入强度最大的公司之一，不仅是国内刻蚀机领域的龙头，也是唯一能够打入台积电7nm制程的大陆设备供应商。

颇为难得的是，虽然半导体行业总体波动幅度较大，但中微公司近几年的业绩却表现相对稳定。2016年至2019年，中微公司的营业收入分别为6.1亿元、9.7亿元、16.4亿元和19.5亿元，始终处于增长态势。尤其是在刚刚过去的2020年，中微公司实现归母净利润4.92亿元，同比大增161%。

骄人业绩的背后，是中微过硬研发能力的体现。目前，中微已经开始量产5nm蚀刻机设备，并且被台积电采购用于生产5nm芯片。日后将成为华为、苹果和高通等厂商生产5nm制程工艺芯片的关键设备。

而随着中微公司的研发投入持续增大，技术提升，面对广阔的国内市场，订单有望持续上涨！

四.北方华创

总市值：839亿元

北方华创是由“七星电子”和“北方微电子”两大国企在2015年战略重组而来。主要业务是高端半导体装备及精密电子元器件的研发生产，是国内产业布局最丰富的半导体设备制造企业，产品已覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、热处理和扩散等重要工艺，始终承担着国产替代的重任。

得益于整合了两大国有半导体研发制造公司，北方华创一跃成为国内主流高端电子工艺装备供应商的技术担当和脸面担当。

除此之外，北方华创也是目前国内唯一一家具有8英寸立式扩散炉和清洗设备生产能力的公司，自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂；12英寸清洗机累计流片量已突破60万片大关；

业绩方面，北方华创2020年实现净利润5.37亿元，同比增加73.75%。