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重要性不输光刻机！我国这一芯片制造关键设备惊传重大突破，这些标的已抢先布局

发布时间：2020-6-30 09:19阅读：430

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据新华社6月29日报道称，从中国电子科技集团有限公司获悉，由该集团旗下装备子集团自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型。长久以来，因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒，被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”，是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。

电科装备在离子注入机领域具有较好的技术积淀，已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题，产品广泛服务于全球知名芯片制造企业。相关人士称，电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机，实现我国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展，并为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。

相关公司方面，

万业企业：子公司凯世通低能大束流离子注入机2019年迁机成功，顺利进入离子注入晶圆验证阶段。公司表示最新一代产品代iPV6000光伏离子注入机目前已与一家光伏行业头部公司签署了试用订单。

四创电子：中国电子科技集团下属公司，为中电博微未来经营发展资本运作的版块上市平台，由中电博微统筹开展相关业务资产及资源的整合重组。

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