光刻胶的定义,求一个专业详细的解答
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光刻胶又叫光致抗蚀剂,是一种对光、电子束等辐照敏感的高分子功能性材料,也是半导体、显示面板、PCB印制电路板等高端制造领域里,实现精准图形转移的核心耗材,直接决定了芯片、面板能做到多细的线路精度,也就是咱们常说的制程节点。

它的工作逻辑其实很好理解:先把光刻胶均匀涂在晶圆、玻璃基板这类基底上,再通过掩膜板把提前设计好的电路图案投影到光刻胶表面,曝光区域的化学性质会发生改变,之后用显影液洗掉对应区域,就能把掩膜板上的图案复刻到基底上,后续再通过刻蚀就能把图案转移到材料内部。

常见的光刻胶可以按两种方式区分:按显影效果分正性和负性,半导体先进制程大多用正性胶,分辨率表现更好;按应用场景分半导体级、面板级、PCB级,其中半导体级要求最高,需要达到纳米级的超高纯度和分辨率。目前国内中低端PCB级光刻胶已经实现自主供应,高端半导体级光刻胶也在加速国产替代的进度。

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