半导体ETF基金的排名会随市场情况动态变化，很难给出一个固定的排名。不过，为你介绍几只表现不错的半导体ETF：
1. 全产业链覆盖型：
- 华夏国证半导体芯片ETF（159995）：跟踪国证半导体芯片指数，覆盖芯片材料、设备、制造等全产业链，前十大重仓股包含中芯国际、北方华创等龙头企业。风格稳健，能全面反映半导体芯片产业的整体发展情况，适合想入门芯片赛道的新手。
- 国泰CES半导体芯片行业ETF（512760）：聚焦中华半导体芯片指数，代表性较强，波动率略高但长期收益更优，近三年年化收益高于华夏国证半导体指数，重仓韦尔股份、兆易创新等企业。
- 鹏华国证半导体芯片ETF（159813）：规模达54.50亿元，流动性佳（日均成交额2.77亿元），持仓集中于中芯国际、北方华创等龙头，适合大额资金进出。
2. 设备材料聚焦型：
- 博时中证半导体产业ETF（159582）：跟踪中证半导体产业指数，设备材料权重占比较高。
- 科创半导体ETF（588170）：跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，涵盖了科创板中半导体设备和半导体材料细分领域的硬科技公司。当前半导体设备材料板块估值处于相对洼地，在国产替代加速的背景下，具有较大的投资潜力。
- 半导体设备ETF（561980）：主要聚焦于半导体设备、材料等上游产业链公司，前十大成分股覆盖了多家行业龙头企业。随着大基金三期的落地，该基金有望受益于先进制程扩产和核心设备、零部件、材料的研发支持。
3. 其他：
- 国联安中证全指半导体ETF（512480）：被称为半导体 “收益优等生”，近一年涨98.7%，近6年年化收益15.2%。它跟踪中证全指半导体指数，持仓以紫光国微、士兰微等国内半导体企业为主，比芯片ETF多覆盖了 “设备 + 封测” 领域，年化收益表现较好，适合长期定投。
- 广发国证半导体芯片ETF（159801）：规模较大，重仓中芯国际、海光信息等，近一年收益率达19.36%。

在选择半导体ETF时，你可以关注跟踪指数差异，国证芯片指数侧重全产业链，中证全指半导体指数聚焦国内企业，中华半导体芯片指数包含海外龙头；也要考虑风险与收益特征。另外，国家大基金三期成立后，半导体设备、AI芯片或成重点投资方向，可关注相关主题基金。

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