选择半导体ETF场内基金的性价比，要考虑基金规模、跟踪误差、费率等因素。以下几只半导体ETF场内基金性价比相对较高：
1. 国联安中证全指半导体ETF（512480）：规模较大，流动性好，能较好跟踪中证全指半导体指数，反映半导体行业整体表现。
2. 国泰CES半导体芯片ETF（512760）：也是市场上较受关注的半导体ETF，紧密跟踪CES半导体芯片行业指数，费率方面有一定优势。
3. 华夏国证半导体芯片ETF（159995）：规模和流动性都不错，能有效跟踪国证半导体芯片指数，让投资者分享半导体芯片企业发展红利。

不过，投资半导体ETF也有风险，半导体行业技术更新快、竞争激烈、受政策和国际贸易环境影响大。你可以下载盈米启明星APP输入6521，在上面能详细了解这些基金的具体情况，还能享受全市场最低1折费率以及专业投资顾问服务，专业人员会提醒买卖点。

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