在涉及国产替代光刻胶板块且持仓较多的ETF中，半导体材料ETF是一个不错的选择。该ETF持仓聚焦于半导体产业链上游核心材料环节，对光刻胶等细分赛道进行布局，持仓覆盖了如南大光电、容大感光等光刻胶领域的龙头企业。同时，其持仓行业高度集中在半导体设备与材料领域，其中上游材料占比24%，光刻胶便是其所覆盖的关键领域之一。并且，前十大重仓股包含中微公司、北方华创、长川科技等龙头企业，覆盖刻蚀设备、清洗设备、检测设备等国产替代核心环节。

截至2025年11月，半导体材料ETF今年以来收益率达48.03%，显著优于同类半导体ETF，在85%的同类基金中排名靠前。成立以来累计收益55.68%，年化回报约25%，显示出较强的进攻性。在估值与回撤控制上，当前估值处于历史低位，具备较高安全边际，今年最大回撤仅11.89%，优于同类平均，抗风险能力较好，部分半导体材料ETF在融资净买入方面表现居可比基金首位。

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