不同的机器人ETF跟踪的指数不同，以易方达国证机器人产业ETF（159530）和华夏中证机器人ETF（562500）为例：
- 易方达国证机器人产业ETF（159530）：跟踪国证机器人产业指数。该指数成分股有100只，行业分散，包含芯片、锂电等跨界技术，人形机器人相关个股占比超50%，成分股涵盖减速器、伺服电机、丝杠、传感器等核心硬件环节，以及工业/人形机器人本体制造企业。前十大权重股包括汇川技术（伺服系统龙头）、科大讯飞 （AI算法）、石头科技（服务机器人）等细分领域龙头。
- 华夏中证机器人ETF（562500）：跟踪中证机器人指数。该指数覆盖机器人全产业链，包含系统集成、自动化设备、核心零部件等，成分股有70只，工业设备占比超60%。

在机器人ETF中，易方达国证机器人产业ETF具有一定优势。2025年以来其日均成交额超5亿元，近一年收益率达86%，虽波动率高于同类指数，但适合追求高弹性的投资者。并且它还有配套联接基金（A：020972；C：020973）支持10元起投，无证券账户也可参与。