半导体设备ETF的申购费率得看具体的销售平台哈，不同平台规定不太一样。一般来说，在一些常见平台可能是0.12% - 0.15%，不过也有平台会根据活动等情况进行费率打折。

关于现在适不适合开始定投半导体设备ETF，半导体行业波动比较大，目前半导体设备行业有一定的发展机遇，比如国产替代进程在推进等，但也面临一些不确定性，像全球经济形势、国际贸易摩擦等因素都可能影响行业走势。如果从长期投资的角度，通过定投的方式参与可以在一定程度上平滑成本，分散风险。不过，定投也不能保证一定盈利，还是得看行业后续的发展情况。

对于普通人而言，自己判断市场和选择投资标的是有难度的。最好找个专业的投资顾问咨询，让专业人士根据你的风险承受能力、投资目标等给你做些配置和选择建议。

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