国产光刻机产业链目前处于“整机突破+零部件替代”阶段，龙头逻辑分三层：
1. 整机：上海微电子（未上市），借壳预期最浓的是 张江高科（600895）——通过参股上海微电子装备集团10.78%股权，具备资产注入预期；弹性最大的是 奥普光电（002338）——母公司长春光机所承担EUV光源国家02专项，存在资产整合可能。
2. 核心零部件： 福晶科技（002222）（KBBF晶体全球垄断，光源系统核心）、 苏大维格（300331）（光刻机定位光栅部件已通过上海微电子验证）。
3. 耗材/服务： 晶瑞电材（300655）（KrF/ArF光刻胶量产导入中芯国际）、 蓝英装备（300293）（ASML清洗设备供应商，技术平移至国产线）。

操作策略：短线看张江高科的情绪溢价（需跟踪上海微电子IPO进展），中线布局福晶科技+苏大维格的技术壁垒，仓位控制在10%以内（行业波动极大）。注意：光刻机商业化量产未落地前，估值全靠预期驱动，需设置15%止损位。

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