ETF的基金管理人每日开市前会根据基金资产净值、投资组合以及标的指数的成份股情况，公布“实物申购与赎回”清单（也称“一篮子股票档案文件”）。投资人可依据清单内容，将成份股票交付ETF的基金管理人而取得“实物申购基数”或其整数倍的ETF；以上流程将创造出新的ETF，使得ETF在外流通量增加，称之为实物申购。实物赎回则是与之相反的程序，使得ETF在外流通量减少，也就是投资人将“实物申购基数”或其整数倍的ETF转换成实物申购赎回清单的成份股票的流程。
　　ETF的实物申购与赎回只能以实物交付，只有在个别情况下（例如当部分成份股因停牌等原因无法从二级市场直接购买），可以有条件地允许部分成份股采用现金替代的方式。
　　举例而言，对于上证50指数ETF，“申购”是指用一篮子指数成份股股票换取一定数额的ETF基金份额。例如，投资者可使用187手中国联通、36手浦发银行、12手白云机场等50只股票，换取100万份ETF基金份额（即1个“最小申购、赎回单位”）；或者374手中国联通、72手浦发银行、24手白云机场等50只股票，换取200万份ETF基金份额（即2个“最小申购、赎回单位”）。
　　“赎回”的过程则相反，是指用一定数额的ETF份额换取一篮子指数成份股股票，例如，100万份ETF基金份额（1个“最小申购、赎回单位”）可以换取187手中国联通、36手浦发银行、12手白云机场等50只股票。如果是200万份ETF基金份额（即2个“最小申购、赎回单位”），则可以换取374手中国联通、72手浦发银行、24手白云机场等50只股票。