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光刻机概念股涵盖光刻机产业链多个领域,以下是核心企业分类及技术亮点:
一、整机与核心系统
张江高科:通过子公司持股上海微电子10.78%,国产光刻机整机研发核心平台。
上海电气:母公司为上海微电子第一大股东,提供资金和技术支持。
二、光学与光源系统
福晶科技:全球非线性光学晶体龙头,产品直供ASML,用于光刻机激光光源系统
茂莱光学:为国产28nm光刻机供应精密光学镜头。
三、材料与配套设备
南大光电:国内唯一实现ArF光刻胶(适配28nm)规模量产的企业。
凯美特气:国内唯一通过ASML子公司Cymer认证的光刻气供应商
如需完整名单或细分领域分析,可进一步查阅相关报告
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