以下是目前主要投资于机器人及相关产业链的ETF基金名单：

银华中证机器人ETF（562360）：

基金公司：银华基金跟踪指数：中证机器人指数覆盖范围：涵盖数字化车间、生产线集成商及人形机器人产业链。

华夏中证机器人ETF（562500）：

基金公司：华夏基金跟踪指数：中证机器人指数特点：全市场规模最大的机器人主题ETF之一，广泛受到投资者关注。

华夏中证机器人ETF（515030）：

基金公司：华夏基金跟踪指数：中证机器人指数老牌ETF：成立时间较早，权重股包括汇川技术、科大讯飞等知名企业。

广发国证机器人产业ETF（159551）：

基金公司：广发基金跟踪指数：国证机器人产业指数覆盖范围：包含机器人、数控机床等领域的100只样本股，为投资者提供了多元化的投资选择。

这些ETF基金为投资者提供了布局机器人及其相关产业链的便捷途径，有助于分散投资风险并把握行业发展的机会。投资者可以根据自身的投资需求和风险偏好，选择适合的ETF基金进行投资。