人工智能ETF没有绝对的固定排名，从不同维度来看，表现较为突出的有以下几只：

从规模角度：人工智能ETF（159819）最新规模97亿元，居可比基金首位，市场认可度较高，资金流入情况良好，2月5日单日净流入2.81亿元，连续2日吸金6.28亿元，份额达104.65亿份。

从流动性角度：人工智能AIETF（515070）流动性居市场前列，2025年2月7日单日涨幅2.87%，近2日主力资金净流入3105.98万元，成交额突破3.30亿元，其覆盖寒武纪、海康威视、中际旭创等头部AI企业，前十大权重股占比52.15%。

从短期涨幅角度：截至2025年2月11日，AI人工智能ETF（512930）近1周累计上涨10.54%，涨幅在可比基金中排名较为靠前，最新规模达14.39亿元，近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”9546.85万元。