整机
张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；
上海电气：母公司为上海微电子第一大股东；
东方明珠：通过间接持股上海微电子
奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。

光源
波长光电：光刻机平行光源系统；
茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机；
福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。

光学器件
腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链；
苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品；
炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；
京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；
晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。

洁净设备
蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；
美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；
国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
温控海立股份：微电子装备集团的系统级合作
商同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制

物镜
赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。

控制器
电科数字：子公司可供货光刻机控制器。

结构件
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；
子公司是上海微电子供应商。

维修服务
东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务。