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国内在光刻机领域有突破的公司主要有：
上海微电子：作为国内光刻机设备领域的领航者，承担着国产光刻机设备的希望，能生产28nm及以上制程的光刻机，即将量产，且可通过多重曝光制造7纳米芯片。
赛微电子：为ASML提供透镜系统MEMS部件和晶圆制造服务，其全资子公司瑞典Silex是全球领先的纯MEMS代工企业，正在瑞典扩充产能，同时北京“8英寸MEMS国际代工线”已投入运营。
炬光科技：为上海微电子等企业提供了半导体激光退火系统以及核心元器件。
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请问光刻机重组概念股有哪些？
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许经理 
回答时间：2025-01-19 20:27 
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