您好，光刻机概念股如下

中微公司（688012）：

中微公司全称中微半导体设备（上海）股份有限公司，专注于高端半导体设备的研发和生产，涉及设备包括光刻机相关的蚀刻设备等。
北方华创（002371）：

北方华创科技集团股份有限公司是国内半导体设备龙头企业之一，生产包括刻蚀机、薄膜沉积设备，以及用于芯片制造的多种设备。
上海微电子装备（未上市，但值得关注）：

上海微电子装备股份有限公司（SMEE）是中国光刻机领域的研发先锋，尽管目前未上市，但其在技术研发上的进展备受市场关注。
华为（未直接涉及光刻机，但与半导体产业紧密相关）：

虽然华为主要以通信设备和智能设备闻名，但其在半导体领域的投资和研发布局也非常广泛，与光刻机技术的发展具有战略性关联。
赛腾股份（603283）：

苏州赛腾精密电子股份有限公司生产半导体设备，包括应用在光刻机的部分专用设备。
需要注意的是，虽然这些公司涉及光刻机或相关领域，但目前国内整体光刻机技术与国际领先水平（如荷兰ASML等）相比仍有差距。投资者在投资相关板块时应综合考虑公司业绩、研发实力及行业发展前景，进行深入分析和研究。