与人形机器人概念相关的ETF基金主要有以下这些：

机器人ETF（562500）：全称为华夏中证机器人交易型开放式指数证券投资基金，是全市场规模最大、流动性最佳的机器人主题ETF，紧密跟踪中证机器人指数，其成分股包含汇川技术、石头科技等公司。

机器人ETF（159770）：跟踪中证机器人指数，截至2月24日，最新规模为33.16亿元，在深交所上市的同标的产品中规模居首位。

机器人指数ETF（159526）：同样追踪中证机器人指数，主要投资于沪深市场中机器人相关上市公司证券。

机器人产业ETF（159551）：追踪中证机器人指数，选取系统方案商、自动化设备制造商等机器人相关上市公司作为样本。

机器人ETF易方达（159530）：追踪国证机器人产业指数，该指数由沪深北交易所机器人产业相关的上市公司组成。

机器人100ETF（159559）：追踪国证机器人产业指数，反映该主题领域的证券价格变化情况。

机器人ETF基金（562360）：追踪中证机器人指数，从沪深市场中选取与机器人相关的上市公司证券作为样本。