光刻机概念股的龙头股主要集中在光刻机整机制造、核心零部件、光刻胶及材料等关键领域。以下是部分龙头股，供参考：

整机制造
-张江高科（600895.SH）：持有上海微电子10.779%的股份，上海微电子是我国唯一可生产前道光刻机的企业，目前量产90nm光刻机，28nm在研。

核心零部件
-福晶科技（002222.SZ）：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商，间接供货ASML公司光刻机激光光源晶体。
-奥普光电（002338.SZ）：中科院长光所旗下，参与光刻机光学部件研发。

光刻胶及材料
-南大光电（300346.SZ）：国内唯一实现ArF光刻胶量产的企业，产品直接用于高端芯片制造。
-晶瑞电材（300655.SZ）：KrF光刻胶量产，ArF光刻胶在研。

 其他相关企业
-茂莱光学（688502.SH）：生产的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm，突破常规透镜尺寸和精度的指标要求。
-炬光科技（688167.SH）：提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器。

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