张江高科（股票代码002008）：通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子装备有限公司，持有微装公司10.779%的股权。
容大感光（股票代码300576）：公司的光刻胶产品主要包括紫外线正胶、紫外线负胶两大类产品以及稀释剂、显影液、剥离液等配套化学品，主要应用于平板显示、发光二极管及集成电路等领域。
金力泰（股票代码300289）：公司控股子公司上海金杜新材料科技有限公司于2020年11月5日收到上海微电子装备（集团）股份有限公司签署的《外协件采购通用条款》，上海金杜正式成为上海微电子的合格供应商，公司设备广泛应用于集成电路前道，先进封装，FPD面板，MEMS，LED，PowerDevices等制造领域，上海金杜将向上海微电子提供应用于其产品零部件的表面处理服务。
蓝英装备（股票代码300293）：精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。
波长光电（股票代码300789）：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。
 赛微电子（股票代码300456）：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，该类业务一直为公司工艺门槛极高的优势业务。
 彤程新材（股票代码603650）：全资子公司彤程电子受让科华微电子33.70%的股权，已于2020年7月2日完成了相关工商变更登记。北京科华微电子成立于2004年8月，是国内唯一拥有荷兰ASML曝光机的光刻胶公司，是集光刻胶研发、生产、检测、销售于一体的中外合资企业，也是国内唯一一家拥有高档光刻胶自主研发及生产实力的国家级高新技术企业。
 奥普光电（股票代码002238）：大股东长春光机所正在研发更高水平的光刻机曝光系统。子公司禹衡光学的高端光栅编码器填补了国内空白并达到国际同类产品先进水平，解决了国家在高端位移传感器领域的卡脖子问题，为国产替代、自主可控做出应有贡献。

此外，大族激光（股票代码002008）也是光刻机领域绝对的龙头公司，是亚洲最大激光加工设备生产商。

请注意，投资股票需要谨慎，考虑风险因素，做好个人理财规划。

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