您好，要找光刻机概念的基金，这里有一些你可以考虑的类别：

1. 科技创新基金：
- 这类基金主要投资于科技创新领域的公司，其中包括半导体设备和材料公司，光刻机相关的企业也是他们关注的重点。

2. 半导体基金：
- 专门投资于半导体产业链上的公司，光刻机作为半导体制造的重要设备，自然是这类基金的投资目标之一。

3. 高端制造基金：
- 投资于先进制造业，其中包括光刻机制造商和相关材料供应商。

4. 芯片基金：
- 关注芯片产业链的基金，光刻机作为芯片制造的核心设备，是这类基金的重要投资方向。

具体的基金产品名称可能会有所不同，你可以在基金平台或证券公司网站上搜索这些类别的基金，看看有哪些具体的产品符合你的需求。

投资有风险，入市需谨慎哦！

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