1. 光源系统：光刻机中的光源是用来发出光线的，不同的光刻机需要不同的光源，如紫外光源、X射线光源等。光源的亮度和稳定性直接影响到光刻的精度和效果。
2. 光学系统：光学系统是光刻机的核心部分，包括透镜、反射镜等，用于将光线聚焦到硅片上，实现图案的曝光。光学系统的精度和性能直接影响到光刻的分辨率和误差。
3. 控制系统：控制系统是光刻机的重要组成部分，用于控制曝光时间和光线的强度等参数，保证光刻的精度和质量。控制系统需要与光刻机其他部分紧密配合，实现高精度的控制。
4. 掩膜版：掩膜版是用来制作芯片图案的，将图案印制到硅片上。掩膜版的精度和稳定性直接影响到光刻的效果和质量。
5. 硅片传输系统：硅片传输系统是用来将硅片传输到光刻机中的，需要保证传输的稳定性和精度，避免硅片位置的偏差对光刻效果的影响。
6. 精密机械系统：精密机械系统是光刻机的重要组成部分，用于实现硅片和掩膜版之间的精确对准，保证光刻的精度和质量。
7. 环境保护系统：环境保护系统是用来保证光刻机的工作环境的，包括温度、湿度、气压等环境的控制，以保证光刻机的稳定性和精度。

综上所述，光刻机概念不仅包括核心技术、设备等方面，还包括光源系统、光学系统、控制系统、掩膜版、硅片传输系统、精密机械系统和环境保护系统等多个方面。这些方面相互配合，共同实现芯片制造中的关键环节。

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