ETF的基金管理人每日开市前会根据基金资产净值、投资组合以及标的指数的成份股情况，公布“实物申购与赎回”清单。投资人可依据清单内容，将成份股票交付ETF的基金管理人而取得“实物申购基数”或其整数倍的ETF；以上流程将创造出新的ETF，使得ETF在外流通量增加，称之为实物申购。实物赎回则是与之相反的程序，使得ETF在外流通量减少，也就是投资人将“实物申购基数”或其整数倍的ETF转换成实物申购赎回清单的成份股票的流程。
ETF的实物申购与赎回只能以实物交付，只有在个别情况下（例如当部分成份股因停牌等原因无法从二级市场直接购买），可以有条件地允许部分成份股采用现金替代的方式。ETF“实物申购、赎回”的交易对手方是投资者和基金。