半导体设备ETF与同类基金相比，业绩呈现“高弹性、高波动”的特点，有优势也有劣势。

优势方面，从业绩数据来看，半导体设备ETF（561980）近1年收益率61%，优于94.83%同类基金；159516近1年收益49.82%，优于89.34%同类；广发中证半导体材料设备ETF（560780）近一年收益77.12% 。561980近1年夏普比率1.35，优于81.67%同类基金；159516为1.17，优于67.05%同类基金。从过去5年表现来看，它在同类科技ETF中处于中上游水平，在行业景气周期上行阶段，涨幅显著跑赢多数宽基科技指数。与同类宽基半导体ETF对比，在行业上升期，半导体设备ETF因聚焦北方华创、中微公司等设备环节龙头，涨幅比宽基半导体ETF高出约12%。和一些主动管理的半导体基金相比，它能紧密跟踪指数，可获得市场平均收益，且管理费和托管费较低，还能在市场下跌阶段通过分散投资，使波动相对较小。

部分半导体设备ETF的具体业绩如下：
- 半导体设备ETF易方达（159558）：截至2026年5月8日，单位净值2.4122，较前一日下跌2.09%。近1月涨幅18.77%，近3月涨幅15.50%，近6月涨幅38.45%，近1年涨幅95.62%，成立以来涨幅141.22%。
- 半导体设备ETF国泰（159516）：截至2026年5月7日，单位净值1.0505，较前一日上涨2.25%。近1月涨幅30.33%，近3月涨幅17.87%，近6月涨幅40.90%，近1年涨幅98.75%，成立以来涨幅110.10%。
- 还有一只半导体设备ETF（159516）在2025年11月21日的数据显示，近1周涨跌幅 -6.11%，同类平均 -3.37%，同类排名3596 | 4234 不佳；近1月涨跌幅 -5.64%，同类平均 +0.48%，同类排名2931 | 4143 不佳；近3月涨跌幅 +15.94%，同类平均 +6.22%，同类排名341 | 3915 优秀；近6月涨跌幅 +33.66%，同类平均 +22.37%，同类排名524 | 3558 优秀；近1年涨跌幅 +18.48%，同类平均 +21.81%，同类排名1240 | 2920 良好。
- 国联安中证全指半导体产品与设备ETF联接A，今年以来（截至2026年5月）收益22.81%，近一年收益66.58%，近一年排名同类895/4587。
- 华夏中证半导体材料设备主题ETF，今年以来（截至2026年5月）收益30.99%，近一年收益93.87%，近一年排名同类339/4587 。

劣势方面，它属于中风险产品，行业波动较大，近1年波动率达32.63% 。

是否可以购买半导体设备ETF，还需要综合多方面考虑。半导体行业周期性较强，基金过往业绩不代表未来收益，还需要关注后续监管政策变化带来的政策风险。若您长期看好半导体国产替代趋势，且能承受短期波动，这类ETF具备配置价值；但短期投资者需警惕行业周期波动带来的回撤风险。半导体行业受政策、技术迭代、全球供应链等因素影响较大，波动剧烈，配置时需控制仓位，避免过度集中。

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发布于19小时前 免费一对一咨询