半导体设备ETF与同类基金相比，在业绩方面有自身特点，具有一定优势，但也存在劣势。

优势如下：
一是业绩表现优异，部分半导体设备ETF近一年收益率较高，处于行业前列。如半导体设备ETF 561980近1年收益率61%，优于94.83%同类基金；159516近1年收益49.82%，优于89.34%同类；广发中证半导体材料设备ETF近一年收益77.12%。
二是风险收益比较好，以夏普比率看，561980近1年夏普比率1.35，优于81.67%的同类；159516为1.17，优于67.05%同类。
三是估值有吸引力，当前部分半导体设备ETF估值处于历史低位，像561980估值低于73%时期。
四是持仓聚焦，主要覆盖半导体设备、材料等细分领域，行业纯度更突出，例如561980持仓中制造业占比88.9%。
五是紧密跟踪指数且成本低，能紧密跟踪指数获得市场平均收益，管理费和托管费也较低。
六是波动控制较好，采用分散投资方式，在市场下跌阶段波动相对较小，回撤控制优于部分主动管理的半导体基金。

劣势有：
一是行业集中度过高，在半导体设备行业整体受挫时，表现可能不如一些分散投资的同类产品。
二是历史业绩波动大，半导体设备ETF近1年波动率达32.63% - 35.49%，最大回撤19.19% - 21.7% ，抗波动能力在同类产品中表现不佳，短期波动较大。

现在是否可以买入半导体设备ETF，需要综合多方面因素考虑。在行业逻辑方面，半导体设备是国产替代的核心环节，长期成长空间明确。从市场环境看，AI推理等需求拉动AI算力需求持续攀升，相关硬件供需失衡情况正由点及面。不过半导体设备ETF单赛道集中度高，回撤可能超过20%，适合能接受高波动、投资周期在3年以上的投资者，风险承受能力较低、投资周期短的投资者要谨慎考虑。

单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。盈米基金叩富团队打造了【叩富安盈组合(R2)】【叩富稳盈组合(R3)】【叩富定盈组合(R3)】等基金组合，能帮助分散风险。建议您通过盈米启明星小程序添加店铺“叩富”进行购买，相对其他平台，可以享受1折费率起费率以及专业投资顾问服务，专业人员会提醒买卖点。若您对自身风险评级不确定，也可通过该APP免费获取风险测评服务，帮助匹配合适的配置比例。您也可以添加右上角微信联系顾问，我们的专业团队会为您详细解答疑问并提供专业的投资建议。